廣州賽通科技有限公司是生產(chǎn)傳感器的廠家。
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傳感材料、MEMS 芯片、驅(qū)動(dòng)程序和應(yīng)用軟件是智能傳感器實(shí)現(xiàn)這些功能的核心技術(shù)，特別是 MEMS 芯片，由于其具有體積小、重量輕、功耗低、可靠性高并能與微處理器集成等特點(diǎn)，已成為智能傳感器的重要載體。下面以常用的溫度、壓力、光學(xué)和RFID傳感器為例，介紹基于MEMS的智能傳感器技術(shù)進(jìn)展。
① 智能溫度傳感器
智能溫度傳感器適用于冶金、石化、石油、化工、制藥、造紙、印染、釀造、環(huán)保、電力等行業(yè)。當(dāng)前的智能溫度傳感器正朝著高精度、多功能、總線標(biāo)準(zhǔn)化、高可靠性及安全性、開發(fā)虛擬傳感器和網(wǎng)絡(luò)傳感器、研制單片測溫系統(tǒng)等方向迅速發(fā)展。目前，國外已相繼推出多種高精度、高分辨率的智能溫度傳感器，使用 9~12位A/D轉(zhuǎn)換器，分辨率可以達(dá)到 0.5~0.625℃。由美國Dallas半導(dǎo)體公司新研制的DS1624型高分辨力智能溫度傳感器，能輸出13位二進(jìn)制數(shù)據(jù)，分辨率高達(dá)0.03℃，測溫精度為±0.2℃。
② 智能壓力傳感器
基于 MEMS技術(shù)的智能壓力傳感器具有小型化、低成本、易集成等優(yōu)點(diǎn)。壓力的傳感范圍也很寬，在1kPa～100MPa 之間。可廣泛應(yīng)用于微型機(jī)電系統(tǒng)、汽車、航空動(dòng)力學(xué)、工藝控制和生物醫(yī)學(xué)等方面。當(dāng)前智能壓力傳感器技術(shù)的研究熱點(diǎn)致力于減輕其敏感性和線性之間的矛盾，以提高傳感器精度[3]。美國柏恩Bourns研制的BPS140新型壓力傳感器性能穩(wěn)定，在溫度范圍為-40°C至150°C之間使用時(shí)，總誤差為2.5%FS，產(chǎn)品壽命變化為0.5%FS[4]。
